第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛

陶瓷-金属连接件具有金属材料的韧性，同时也具有陶瓷材料的腐蚀磨损抗性及高温稳定性，能够满足极端环境下材料设计与应用的要求，被广泛应用于极大规模集成电路、微机电系统及生物材料等先进材料制造领域。但是由于金属在陶瓷表面润湿性较差，难以形成可靠的连接件。目前通过在陶瓷表面预沉积一层金属化薄膜来改善润湿性，然而严苛的实验条件限制了其应用范围。因此有必要对现有制备方法改进，使其能够在实际工程中得到推广。本研究采用气相沉积方法在氧化铝陶瓷表面制备钛金属化薄膜，对薄膜进行纳米压入测试、划痕测试以及摩擦测试，对刻划过程中薄膜塑性变形行为进行表征，结合纳米压入得到的硬度、弹性模量以及其相互关系分析了不同制备温度下薄膜的摩擦抗性、塑性变形抗性以及裂纹生成抗性，结合扫描电子显微镜分析了几种薄膜的能量耗散机制，为陶瓷金属化涂层制备及力学行为分析提供参考。

陶瓷金属化,力学性能,摩擦磨损