图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

Oral Presentation离子注入辅助超精密加工碳化硅的机理研究

编号：56 访问权限：Participants Only 更新：2021-04-23 13:40:43 浏览：113次收藏取消收藏

2021-05-16 11:20

15min

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摘要

碳化硅的应用范围十分广泛，但是加工过程有许多的困难。为了探究离子注入表面改性对于碳化硅加工的影响机理，采用了分子动力学模拟的方法对离子注入过程与金刚石磨削过程进行了模拟，并以瑞利概率分布为基础对工件表面粗糙度进行了预测。分析了硅离子注入的能量对工件加工过程中的温度、势能、切削力、摩擦系数以及表面形貌的影响，并利用径向分布函数与类金刚石结构法分析了离子注入对于工件的影响。发现离子注入能量越大，工件内部损伤比例越高，加工时工件的温升速率降低，切削力与摩擦因数降低，单颗磨粒的去除效率逐渐提升，但最终表面粗糙度有所增加。总而言之，离子注入对于碳化硅的加工过程有许多有利的因素，揭示离子注入在加工过程中的影响机理对于实际的具体应用有重要的指导意义。