Oral PresentationTaCN涂层在宽温域环境下的摩擦性能研究
编号:124 访问权限:Participants Only 更新:2020-12-09 11:29:44 浏览:633次

2020-11-15 10:20

15min

[G] 分会场六:摩擦学表面工程论坛A [L2A] 摩擦学表面工程论坛-2-11月15日上午

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摘要
氮化钽(TaN)作为一种高硬度涂层,具有优异的热稳定性、耐腐蚀性和化学稳定性。而摩擦系数较高是影响TaN涂层应用的最大限制问题,将碳元素掺入TaN涂层体系中可以有效降低摩擦系数。因此,通过磁控溅射方法沉积制备TaCN涂层,通过改变乙炔流量大小沉积制备了一批TaCN涂层。结果表明,TaCN涂层的摩擦系数相比TaN涂层得到了大幅度的降低。当氮气流量为30 sccm,乙炔气流量为30 sccm时,TaCN涂层具有非常低的摩擦系数(在0.15左右)。并且针对该性能较为优异的TaCN涂层进行高温下的实验探究,发现该TaCN涂层在室温摩擦系数可以实现低于0.2,650℃高温下摩擦系数约为0.3。
关键词
TaCN涂层,低摩擦系数,宽温域
报告人
李 文正
中国科学院宁波材料技术与工程研究所

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