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Invited speech利用深度剖析定量分析方法确定薄膜层结构中元素的成分分布
编号：37 访问权限：Participants Only 更新：2020-12-08 15:49:17 浏览：1431次

2020-11-15 11:10

20min

[D] 分会场三：薄膜科技论坛 [D1] 上午

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摘要
深度剖析技术现已广泛应用于确定薄膜材料及功能多层膜中元素成分随深度的分布，但由于其涉及复杂的离子溅射过程，样品形貌的多样性，被探测的信号来自距样品表层不同的深度，以及择优溅射等效应，使得测量的成分深度谱偏离真实的成分分布。利用MRI（Mixing-Roughness-Information）模型的深度分辨率函数，通过卷积或反卷积的方法对测量深度谱数据的定量分析，可以还原薄膜层结构中原始的元素成分分布。该方法成功应用于GaAs/AlAs超晶格多层膜和硫脲单分子层结构、以及Ni/Cr多层膜界面粗糙度和Si/Al多层膜中扩散系数的确定。
关键词
深度剖析,薄膜层结构,成分分布,MRI深度分辨率函数
报告人
王 江涌
汕头大学物理系

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活动信息
第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛

2020年11月13日~16日 China · 广州市

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