图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

Invited speech原子尺度KPFM/NC-AFM测量、缺陷修复及电荷传输技术与仪器

编号：538 访问权限：Participants Only 更新：2024-04-25 22:40:11 浏览：346次收藏取消收藏

2024-05-12 08:30

20min

[G] 论坛6：分子薄膜、微纳表面工程 [G-1] 论坛6上午

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摘要

原子及近原子尺度制造是下一代制造技术的重要发展方向。采用”自下而上”构筑原子器件，是跨越摩尔定律，实现原子尺度芯片制造的重要技术路线。精准的测量与控制原子器件内部结构、原子间力场、电荷分布与迁移等复杂相互作用是原子制造器件功能实现的前提。
NC-AFM通过探测高频振动探针的频偏，已实现原子尺度物质结构、原子间力分布测量，是测量和反演原子器件结构形态与相互作用力关系的有力工具。KPFM通过测量/改变探针和样品间的局域接触势能差（LCPD），可以实现原子分辨下meV量级电荷测量，是测量和反演原子器件电荷态与器件性能的有效手段。
本报告聚焦低耦合、高精度、高效的原子尺度力学和电学信息复合KPFM/NC-AFM精密测量原理、方法、技术及仪器，中北大学在该领域的研究进展等，希望为原子器件制造过程参数、器件结构和性能精准测量和反演提供基本测量工具。