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Oral Presentation偏压对AEG辅助离子滲氮和HiPIMS镀制TiAlSiN薄膜结构和力学性能的影响
编号：432 访问权限：Participants Only 更新：2024-04-22 18:04:54 浏览：274次

2024-05-12 15:15

15min

[L] 论坛11：表面工程应用技术A [L-2] 论坛11A下午

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摘要
偏压对AEG辅助离子滲氮和HiPIMS镀制TiAlSiN薄膜结构和力学性能的影响
关键词
报告人
曾 琨
广东汇成真空科技股份有限公司

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活动信息
第十四届全国青年表面工程学术会议

2024年05月10日~12日 China · 宁波市

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