图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

Oral Presentation硅掺杂非晶碳基薄膜的制备及摩擦、防腐性能研究

编号：376 访问权限：Participants Only 更新：2024-04-25 18:22:55 浏览：94次收藏取消收藏

2024-05-12 14:45

15min

[H3] 论坛7：摩擦、磨损与润滑技术B [H3-2] 论坛7B下午

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摘要

非晶碳基薄膜因高硬度、低摩擦系数以及良好的化学惰性等，成为解决材料摩擦、磨损和腐蚀问题的重要材料，其丰富的结构和化学为发展性能优异的表面防护材料提供了广阔的空间。Si掺杂的非晶碳基薄膜因在力学、摩擦学和腐蚀防护等方面的潜在应用价值，吸引了非常广泛的研究关注。然而，关于其摩擦学行为随界面演化的物理或化学本质，以及低摩擦界面的黏着机制与形成机理，仍有许多未知待解。基于此，本论文开展了对通过PACVD方法以乙炔（C₂H₂）和六甲基二硅氧烷（HMDSO）为气源制备的a-C:H:Si薄膜微观结构、力学性能、摩擦学性能及耐腐蚀性能的系统研究；并探索了Si掺杂诱导a-C:H:Si薄膜低摩擦学行为和机制；从腐蚀防护应用角度设计制备了以高Si含量的a-C:H:Si为耐蚀封孔功能顶层、以Cr/Cr(WC)_x/WC/WC:H/a-C:H为承载支撑层的Cr/Cr(WC)_x/WC/WC:H/a-C:H/a-C:H:Si复合薄膜，分析了其腐蚀防护性能与机制；进一步在摩擦界面引入水基润滑剂研究了a-C:H:Si薄膜的摩擦学行为及超润滑特性。