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Oral Presentation钛合金靶材溅射沉积TiAlVN涂层力学性能与摩擦学相容性研究
编号：268 访问权限：Participants Only 更新：2024-04-16 13:54:04 浏览：69次

2024-05-12 15:10

15min

[H1] 论坛7：摩擦、磨损与润滑技术A [H1-2] 论坛7A下午

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摘要
Ti6Al4V合金成本远低于烧结靶材，作为溅射靶材可实现TiAlVN基涂层高效率低成本沉积。而目前采用Ti6Al4V作为溅射靶材沉积涂层的研究较少。因此，需要探索使用Ti6Al4V靶材反应溅射沉积TiAlVN涂层的可行性。研究沉积自Ti6Al4V合金靶材TiAlVN涂层的结构、力学性能与耐磨性，尤其是TiAlVN涂层与对磨副的摩擦学相容性。本文采用Ti6Al4V合金作为溅射靶材，通过反应磁控溅射制备TiAlVN涂层。表征涂层成分、相结构与显微结构，测量评价涂层硬度、弹性模量，涂层与基体结合强度。涂层具有偏离靶材化学配比的纳米柱状晶结构以及（001）择优取向。涂层硬度达30.8 GPa并在不锈钢基体表面体现出优异的膜基结合强度。结合涂层与WC-Co、Si3N4、GCr15和Al配副的往复滑动摩擦磨损实验，提出量化评价钢基体表面TiAlVN涂层与不同材料的摩擦学相容性模型。基于该模型可以发现摩擦系数和对摩副材料弹性模量差值是决定摩擦学系统相容性的主要影响因素。
关键词
Ti6Al4V靶材；磁控溅射；TiAlVN涂层；摩擦学相容性
报告人
吴 彼
中国科学院金属研究所

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活动信息
第十四届全国青年表面工程学术会议

2024年05月10日~12日 China · 宁波市

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