图书馆-报告库-中国机械工程学会表面工程分会

Oral PresentationTi掺杂Ta2O5高透光涂层抗冲蚀性能及损伤演变研究

编号：112 访问权限：Participants Only 更新：2024-04-07 11:12:50 浏览：80次收藏取消收藏

2024-05-12 11:35

15min

[L] 论坛11：表面工程应用技术A [L-1] 论坛11A上午

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摘要

采用DC和RF磁控共溅射法，在PV玻璃上制备了厚度均匀的Ti掺杂Ta₂O₅涂层(TTO)。通过扫描电子显微镜（SEM）、透射电镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)对涂层的表面形貌和微观结构进行表征；X射线光电子能谱分析了涂层的成分；紫外-可见分光光度计测试了涂层的透光率；采用纳米压痕仪测试了涂层的硬度和杨氏模量。为了验证Ti掺杂Ta₂O₅涂层(TTO)的抗冲蚀特性，进一步研究了TTO涂层在不同冲蚀条件下，涂层冲蚀损伤行为随力学特性的变化规律。XPS分析表明TTO涂层的主要成分为TiO₂和Ta₂O₅。SEM和AFM结果显示，TTO涂层表面光滑平整，元素分布均匀且粗糙度为纳米级。TTO涂层呈现致密柱状结构生长。TEM结果显示TTO涂层未出现明的衍射环，主要表现为以Ta₂O₅为主体的非晶相结构。光学测试结果表明，TTO涂层的最大透光率可达94.59%。TTO涂层的光学带隙在3.49 eV~3.98 eV之间。力学测试结果显示，TTO涂层的硬度最大可达9.53 Gpa。冲蚀试验结果表明，冲击坑、犁沟、微切削、脆性剥落和裂纹的形成为TTO涂层样品在冲蚀作用下的主要磨损机制。