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Oral Presentation氮化钛单晶薄膜的外延生长及物性调控研究

编号：46 访问权限：Participants Only 更新：2024-03-12 09:11:57 浏览：66次收藏取消收藏

2024-05-12 14:30

15min

[D] 论坛3：物理气相沉积和化学气相沉积薄膜技术 [D-2] 论坛3下午

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摘要

过渡金属氮化物（如氮化钛，TiN）是一类广泛应用于表面工程的功能涂层材料，然而其相关研究多聚焦于多晶薄膜。受限于薄膜制备方法的限制，过渡金属氮化物单晶薄膜的研究还相对缺乏，严重阻碍了对其本征物理化学性质的理解。针对上述问题与挑战，在本报告中我们介绍了近期发展的磁控溅射外延方法，以TiN为例，生长了一系列过渡金属氮化物单晶薄膜，并揭示了单晶薄膜中氧化、腐蚀、力学及超导性质对晶向的依赖性。

关键词

氮化物,单晶,磁控溅射

报告人

曹彦伟

中国科学院宁波材料所

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活动信息

第十四届全国青年表面工程学术会议

2024年05月10日~12日 China · 宁波市

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