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Invited speech碳硅基固体表面与高能粒子间的反应动力学研究
编号：26 访问权限：Participants Only 更新：2024-03-12 09:11:55 浏览：75次

2024-05-12 08:00

20min

[P] 第十四届全国青年表面工程学术会议 [F2A] 第二分论坛上午场

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摘要
高能粒子与固体表面之间的物理化学反应是诸多科学技术领域中的基础问题。譬如，在等离子体技术中，将物质电离成具有不同能量的粒子，利用材料表面与高能粒子间复杂多样的反应机制，实现不同种类的表面处理技术，如譬如反应离子刻蚀、化学气相沉积、离子注入等。除此之外，飞机发动机叶片材料水氧腐蚀、航天器材料原子氧辐照失效等现象的本质也是高能粒子与材料表面之间的物理化学反应。为此，本研究利用原子模拟手段，以碳硅基固体材料表面为典型研究对象，深入揭示了各类高能粒子与碳硅基固体表面之间复杂的物理化学反应现象和深层机理，为等离子体技术的发展奠定了理论指导。
关键词
计算模拟,反应动力学,表面等离子体,表面化学
报告人
王 杨
西南交通大学

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活动信息
第十四届全国青年表面工程学术会议

2024年05月10日~12日 China · 宁波市

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