第十四届全国表面工程大会

66 / 2022-09-06 15:32:48

基于脉冲激光制备光电子功能器件的作用机制研究

脉冲激光；光电子器件；瞬态作用’

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新型材料和新结构的开发和利用一直是微电子和光电子领域的研究热点，而与传统材料加工技术相比，脉冲激光烧蚀技术在材料功能性结构制备领域具有得天独厚的优势：首先是非接触加工，材料兼容性强；其次是适合微小尺寸加工，通过控制激光光斑形状和尺寸可以制备尺寸可控的表面功能性结构；更为重要的是脉冲激光可以实现激光能量在超短时间内与材料发生相互作用，因此脉冲激光加工技术在材料表面微结构制备领域占有举足轻重的地位。

本报告将主要围绕纳秒与飞秒激光在诱导功能性金属薄膜电极材料制备及柔性透明电子器件领域展开研究；并借助时间分辨图像平台(Time-resolved image)与原位泵浦-探测平台(In situ pump-probing)记录纳秒、飞秒脉冲激光与薄膜相互作用过程中材料表面形貌特征的瞬态变化。