第十四届全国表面工程大会

336 / 2022-09-30 14:59:07

聚酰亚胺表面金属薄膜图形高精度抵损伤激光刻蚀技术

柔性天线,激光刻蚀,低损伤,高精度

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随着微电子技术的发展，采用具有较强空间环境适应性的聚酰亚胺代替硬质材料作为介质基底的柔性天线不仅可以保持天线性能稳定，而且可以卷曲与展开以节省存放空间，为人们的生活提供了便捷。为满足在柔性天线导电层上加工出高精度薄膜电路的实际需求，研究聚酰亚胺表面金属薄膜图形高精度抵损伤激光刻蚀技术，相继开展了激光对金属薄膜/聚酰亚胺复合材料体系的作用机理、激光时空特性对聚酰亚胺基底损伤的影响规律、型面误差分析及高精度激光刻蚀加工技术的研究等。实现了对金属薄膜/聚酰亚胺热物性相差很大材料体系的低损伤激光刻蚀加工（拉伸强度仅降低2.2%）；刻蚀金属薄膜图形尺寸精度优于10μm，图形相对位置精度优于±10μm。