第十三届全国青年表面工程学术会议

190 / 2021-04-05 20:26:36

加热温度对WC-DLC涂层结构和摩擦磨损性能的影响

中频磁控溅射，加热温度，WC掺杂DLC薄膜，磨损率

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摘要：本文采用中频磁控溅射和电弧离子镀复合工艺，在316L不锈钢基体上制备WC掺杂的类金刚石涂层，通过XRD物相分析和摩擦磨损试验，探究加热温度对类金刚石薄膜结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明：薄膜中主要存在WC和W₂C两种晶体相；加热温度升高，薄膜中晶体相有增多的趋势，而sp³C键含量减少；干摩擦试验2N载荷下，摩擦系数随温度升高先降低后升高，350℃时，摩擦系数为0.2；而磨损率随加热温度逐渐增大，150℃时最小为3.45×10^-11m³/(N*m)。