第十三届全国青年表面工程学术会议

       MoS₂是一种具有类石墨烯结构的过渡金属硫化物，在许多领域的应用被深入研究。二硫化钼是一种极具吸引力的低摩擦系数，高承载能力的空间应用固体润滑剂，但是其固有的敏感性大大地限制了它的应用。采用闭合场非平衡磁控溅射技术，以316不锈钢和硅片为基底，通过钛和二硫化钼的共沉积制备不同 Ti 含量的 MoS₂/Ti 复合涂层。通过 XRD、Raman、SEM、EDS、光学显微镜、多环境摩擦试验机等表征了涂层的结构成分和摩擦性能。结果表明，Ti元素的掺杂影响MoS₂薄膜的晶体取向、有效地抑制了多晶柱状结构，增加了涂层的致密性；复合薄膜的硬度和结合力均优于纯MoS₂薄膜。并且显示出非常低的摩擦系数和更长的寿命；适量的Ti含量能够改善MoS₂薄膜在真空和潮湿大气环境等不同环境下的自适应性。