第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛

289 / 2020-10-10 15:28:45

超硬且韧TiN基纳米涂层的设计及应用研究

超硬且韧，深振荡磁控溅射技术，TiN基纳米涂层

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极端环境下零部件表面高性能防护涂层的可控制备技术，已成为高端装备制造、新材料、新能源、核能、航空、航天等国家重大需求领域研究热点。硬质涂层，特别是超硬涂层的韧性提升，能显著改善零部件表面的使役性能和延长使用寿命。本文采用深振荡磁控溅射离子增强沉积技术高速制备具有高表面完整性、超细纳米晶结构的超硬且韧的TiN基纳米涂层。在辐照、高温、腐蚀和磨损等极端工况下，超硬且韧TiN基纳米涂层具有优异的耐久性和减摩耐磨性能。