第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛

183 / 2020-09-20 12:55:09

表面粗糙度对磁控溅射金属靶刻蚀区表面形貌及溅射性能的影响

磁控溅射；靶材；表面粗糙度；表面形貌；溅射性能

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研究表面粗糙度对磁控溅射金属靶刻蚀区表面形貌及其溅射性能的影响规律。结果表明，不同粗糙度的试样严重影响其溅射后的表面形貌，在溅射刻蚀最深区域呈现凹坑和凸起连续分布的形貌，而在划痕不完全刻蚀区和划痕区出现了溅射蚀坑和不完全刻蚀的晶粒所形成的“亮点”；由于晶粒取向不同，晶粒表面溅射刻蚀后而形成了不同高度和宽度的台阶状的形貌；表面初始粗糙度越大的试样溅射10h后，其溅射刻蚀最深区域的表面粗糙度也越大，溅射产额反而越小。因此可通过降低靶材表面粗糙度来增加薄膜沉积速率和溅射过程的稳定性。