第十三届全国表面工程大会暨第十二届全国青年表面工程论坛

17 / 2020-08-29 17:00:55

N含量对TaN涂层的结构的影响及其微纳摩擦的性能

结构,微纳摩擦

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本工作中，在磁控溅射过程中，在保持腔体气压不变的情况下，通过改变不同气流量的氮气，可以观察到对应的TaN涂层具有不同的结构，氮含量较低时，表现为体心立方的Ta金属，随着氮含量的增加，结构会转变为六方及面心立方结构，最终向非晶涂层转变。针对不同结构的TaN涂层，其机械性能也完全不同，尤其是力学性能，其硬度与模量随着结构的变化有较大的差异，其中面心立方结构的TaN具有较大的硬度与模量，而且有较好的韧性。

针对这几种不同的结构进行了微纳摩擦的测试，可以观察到面心立方结构的TaN具有较好的耐磨性能，其摩擦系数与磨损率均较低，表现出了较好的耐磨性能。